<°³¿ä>
-¾×ü¿Í ±âüÀÇ À¯·®À» Á÷Á¢ °üÂûÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô ¼³°è µÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù.
-À¯Ã¼ÀÇ Æ¯¼º»ó ±Ý¼ÓÀ» »ç¿ëÇÒ ¼ö ¾ø´Â °æ¿ì¿¡ Àû¿ë °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
(H2SO4, K2SO4, Hcl, cl2, C2H6O µî)
-À¯Ã¼¿¡ µû¶ó Teflonµî ´Ù¾çÇÑ ÀçÁúÀ» ¼±Á¤ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
-¾Ë¶÷ ¹× °æº¸±â´ÉÀ» Ãß°¡ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
-¾×ü ¹× ±âü¿¡ ¸ðµÎ Àû¿ë °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
-ÄÚÅ© ¹ëºê¸¦ »ç¿ëÇÏ¸é º°µµÀÇ ¹ÙÀÌÆнº(Bypass) ¹è°üÀÌ ÇÊ¿ä ¾ø½À´Ï´Ù.
-Á¢¼Ó ¹æ½ÄÀº Wafer ¶Ç´Â FlangeÇüÀÌ¸ç ±ú²ýÇÑ ¾×ü ¹× Á¤¼ö󸮿¡¼ ±¤¹üÀ§ÇÏ°Ô »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù.