¼ÒÁßÇÑ ²ÞÀ» °£Á÷ÇÑ ´ç½Å¿¡°Ô À¯´Ï¼¿ÀÌ ÇÔ²² ÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.

ÀüÀÚ À¯·®°è

Ædzڿë À¯·®°è

¸éÀû½Ä À¯·®°è

Â÷¾Ð½Ä À¯·®°è

¿­½Ä Áú·®À¯·®°è

¿Í·ù Áú·®À¯·®°è

ÃÊÀ½ÆÄ À¯·®°è

ÃÊÀ½ÆÄ ¼öÀ§°è

ÀÓÆç¶ó À¯·®°è

¿À¹ß±â¾î À¯·®°è

Åͺó À¯·®°è

±Ý¼Ó°ü À¯·®°è

»ó Ç° ¸í

  Wafer Type

Á¦Ç°»çÁø
¹×
÷ºÎÆÄÀÏ

 

 

¸ðµ¨¸í

:

TPI-Y Type

Á¦Á¶È¸»ç

:

À¯´Ï¼¿

¿ø»êÁö

:

Çѱ¹

±¹¹® Ä«´Ù·Î±×

±¹¹® ¸Þ´º¾ó

¿µ¹® Ä«´Ù·Î±×

¿µ¹® ¸Þ´º¾ó

     

 

<°³¿ä>

-¾×ü¿Í ±âüÀÇ À¯·®À» Á÷Á¢ °üÂûÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô ¼³°è µÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù.

-¹è°ü Á¢¼ÓºÎÀÇ ±æÀÌ°¡ ª°í ´Ü´ÜÇÏ¿© ³»¡¤¿ÜºÎ ¾Ð·Â¿¡ Stress) °ßµô ¼ö ÀÖ´Â ±¸Á¶ÀÔ´Ï´Ù.

-¾Ë¶÷ ¹× °æº¸±â´ÉÀ» Ãß°¡ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

-¾×ü ¹× ±âü¿¡ ¸ðµÎ Àû¿ë °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.

-ÄÚÅ© ¹ëºê¸¦ »ç¿ëÇÏ¸é º°µµÀÇ ¹ÙÀÌÆнº(Bypass) ¹è°üÀÌ ÇÊ¿ä ¾ø½À닏´Ù.

-Á¢¼Ó ¹æ½ÄÀº WaferÇüÀÌ¸ç ¼³Ä¡°¡ °£´ÜÇÕ´Ï´Ù.

 



   JYO 410 Orifice Flow Meter

   Wafer, ³»»ê¼º Type